【半導体】近大など、ダイヤモンド半導体の絶縁膜界面の欠陥における立体原子配列を解明
近大など、ダイヤモンド半導体の絶縁膜界面の欠陥における立体原子配列を解明近畿大学(近大)、奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)、大阪大学(阪大)、台湾成功大学は2月22日、ダイヤモンドとその表面上に形成された「アルミナ(Al2O3)絶縁膜」の間に形成されてしまう、電気的な欠陥の立体原子配列を解明したことを発表した。
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