【材料】世界初、HVPE法で6インチウエハーに酸化ガリウム成膜 タムラ製作所子会社など
世界初、HVPE法で6インチウエハーに酸化ガリウム成膜 タムラ製作所子会社など次世代半導体材料として注目される酸化ガリウム。タムラ製作所のカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー(埼玉県狭山市)と大陽日酸、東京農工大、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は1日、酸化ガリウムについて、世界で初めての成功を発表した。
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