【半導体】早大など、半導体表面を原子レベルで平坦化可能な技術につながる現象を発見
早大など、半導体表面を原子レベルで平坦化可能な技術につながる現象を発見早稲田大学(早大)、名古屋大学(名大)、日本原子力研究開発機構(JAEA)は7月20日、半導体表面を原子レベルで平坦にする新技術として応用可能な「ステップアンバンチング現象」を発見したことを共同で発表した。
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