【表面フォノンポラリトン】高温ほど熱伝導率が大きくなる現象を観測 東大、窒化ケイ素薄膜で
高温ほど熱伝導率が大きくなる現象を観測 東大、窒化ケイ素薄膜で東京大学の研究チームは1日、窒化ケイ素の薄膜で高温ほど熱伝導率が大きくなる現象を観測した、と発表した。熱伝導を担う格子振動(フォノン)を光と結びつけた「表面フォノンポラリトン」を用いたのが特徴。窒化ケイ素は半導体素子の絶縁膜や保護膜に使われており、今回の成果は集積化と微細化で熱がこもりやすい素子からの放熱促進に役立ちそうだ。
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