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【半導体】プラズマジェットを用いたアモルファスSi膜の結晶化技術を開発

【半導体】プラズマジェットを用いたアモルファスSi膜の結晶化技術を開発 nedo.go.jp

独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の産業技術研究助成事業の一環として、広島大学大学院先端物質科学研究科の准教授、東清一郎氏は、薄膜トランジスタ(TFT)の製造工程に不可欠なアモルファスSiの結晶化を出力が安定していて低コストのアーク放電による熱プラズマジェットで実現しました。

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ソース：nedo.go.jp
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【宇宙】小惑星探査機「はやぶさ」、月までの距離の2倍まで接近する軌道に
ソース：isas.ac.jp
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