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【工業】日立造船、X線量を抑制した電子ビーム(EB)蒸着装置を開発

日立造船はX線量を抑制した電子ビーム(EB)蒸着装置を開発した。2010年内にも、有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)照明の陰極のメタル成膜用に商用化する。同社がEB蒸着装置を手がけるのは初。EB蒸着装置は、メタル成膜の主流となっている抵抗加熱方式の蒸着より成膜速度が高いが、従来はX線による基板への影響があった。

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